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hebeilisbi

铁虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】用TEM可否清晰地看到氧化层的边界？已有3人参与

请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？

大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界？如果不能，用eels或者EDS可否做到成分的分析？eels
和EDS的深度和空间分辨率多少啊？谢谢！

（我的样品是CuInGa的三元合金，厚度大概几个微米，氧化层估计几纳
米吧）

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1楼 2011-03-17 11:41:45

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donkeypku

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Originally posted by hebeilisbi at 2011-03-17 11:41:45:
请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？

大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界？如果不能，用eels或者EDS可否做到成分的分析？eels
和EDS的深度和 ...

高分辨肯定能，前提是你样品做得足够好。如果分析氧化物的话xps比eels和EDS更好