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shenzhenju铜虫 (初入文坛)
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怎样去掉硅表面的氧化层？
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想去除硅表面的氧化层，除了HF酸之外还有其他办法吗？可以用盐酸代替吗？感觉HF酸对人体伤害很大啊。。。 |
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bill_shark
银虫 (小有名气)
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2楼2011-12-06 13:37:52
3楼2011-12-06 15:12:17
yorkhu
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【答案】应助回帖
shenzhenju(金币+1): 2011-12-10 20:45:52
shenzhenju(金币+2): 2011-12-10 20:47:10
shenzhenju(金币+2): 2011-12-10 20:47:10
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http://www.mindspring.com/~zipf- ... etch/EtchTable2.pdf 从上表上看，好像也就ＨＦ比较好用了，虽说RIE and Ion milling 的物理方法也可以。Pad Etch 4 也行的。 我是用过ＨＦ的，带双层手套和面罩，小心一点就没事的 |
4楼2011-12-07 02:37:07