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shenzhenju

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎样去掉硅表面的氧化层?

想去除硅表面的氧化层,除了HF酸之外还有其他办法吗?可以用盐酸代替吗?感觉HF酸对人体伤害很大啊。。。
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bill_shark

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

shenzhenju(金币+1): 2011-12-10 20:45:37
低浓度的HF酸就可以,盐酸对人伤害不比HF酸小吧。。。泡几秒钟就行了
你要不想碰化学试剂,就用物理法去除吧。。。用离子刻蚀,或者激光打。但没有化学法简单。
2楼2011-12-06 13:37:52
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炮灰大神

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

shenzhenju(金币+1): 2011-12-10 20:45:47
大啥啊,不碰到有啥事。。。不用HF酸,什么丙酮溴乙醇不都得用。。。
我是一个虚伪的人。
3楼2011-12-06 15:12:17
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yorkhu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

shenzhenju(金币+1): 2011-12-10 20:45:52
shenzhenju(金币+2): 2011-12-10 20:47:10
http://www.mindspring.com/~zipf- ... etch/EtchTable2.pdf
从上表上看,好像也就HF比较好用了,虽说RIE and Ion milling 的物理方法也可以。Pad Etch 4 也行的。
我是用过HF的,带双层手套和面罩,小心一点就没事的
好好生活,天天向上
4楼2011-12-07 02:37:07
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