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eileenjj

铜虫 (小有名气)

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专业: 半导体电子器件

[求助] 有没有做过单晶硅的刻蚀？！！！！

用离子束刻蚀刻蚀单晶硅，就是一般买的晶圆的那种，IBE参数大概500V，1mA的，刻蚀速率大概在什么范围？请大家多多指教！！！

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1楼 2015-04-16 21:20:54

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