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有没有做过单晶硅的刻蚀？！！！！
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用离子束刻蚀刻蚀单晶硅，就是一般买的晶圆的那种，IBE参数大概500V，1mA的，刻蚀速率大概在什么范围？ 请大家多多指教！！！ |
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