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eileenjj

铜虫 (小有名气)

[求助] 有没有做过单晶硅的刻蚀?!!!!

用离子束刻蚀刻蚀单晶硅,就是一般买的晶圆的那种,IBE参数大概500V,1mA的,刻蚀速率大概在什么范围?  请大家多多指教!!!
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