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有没有做过单晶硅的刻蚀?!!!!
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专业: 半导体电子器件
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有没有做过单晶硅的刻蚀?!!!!
用离子束刻蚀刻蚀单晶硅,就是一般买的晶圆的那种,IBE参数大概500V,1mA的,刻蚀速率大概在什么范围? 请大家多多指教!!!
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1楼
2015-04-16 21:20:54
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