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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射之后靶材这是怎么了？
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射之后靶材这是怎么了？ 已有3人参与

是因为功率太大了吗？
我用的是50w 溅射3h。
可以看见很多大的晶粒。原来是比较光洁的

磁控溅射之后靶材这是怎么了？
靶材
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有今生 有来生 有因果 有轮回
1楼 2014-10-28 08:15:07
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wangaday

金虫 (小有名气)
我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料？怎么变黑了，真空不够？
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2楼2014-10-29 16:06:23
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wu1008

金虫 (著名写手)
这是很正常的啊
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3楼2014-10-29 16:51:13
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2014-10-29 16:51:13
这是很正常的啊

可能是我太敏感了。谢谢
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4楼2014-10-30 07:25:09
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangaday at 2014-10-29 16:06:23
我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料？怎么变黑了，真空不够？

我也不知道。是FeGaa，可能是真空不够。
你的头像可爱啊。
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有今生 有来生 有因果 有轮回
5楼2014-10-30 07:25:48
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
.
6楼2014-11-01 19:36:28
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锡伯

银虫 (正式写手)
请问你用的设备是哪里产的呢？
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立场坚定，斗志强
7楼2014-11-03 13:07:18
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 锡伯 at 2014-11-03 13:07:18
请问你用的设备是哪里产的呢？

用的是沈科仪的
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有今生 有来生 有因果 有轮回
8楼2014-11-04 08:20:22
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449836384

新虫 (初入文坛)
把过程参数描述下，可能是靶材冷却不好，或者靶材中毒。
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9楼2014-11-06 15:10:30
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 449836384 at 2014-11-06 15:10:30
把过程参数描述下，可能是靶材冷却不好，或者靶材中毒。

FeGa靶材 1mm厚  直流溅射 50W 60min.  氩气流量 17 sccm，启辉气压 0.7pa。 谢谢。还是有点黑。
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有今生 有来生 有因果 有轮回
10楼2014-11-06 16:28:10
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