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至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

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净慧婍兴: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 谢谢 2014-11-08 14:15:49

正常
有时候，对于某些靶材，溅射的时候就是融化和再结晶，因为结晶速度慢或者其他原因，会在溅射之后看到粗大晶粒。

比如铁、钒铬靶

11楼2014-11-07 14:16:17

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新虫 (著名写手)

国产的设备真空度本来就比较低，可能会出现这种情况

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

12楼2015-01-14 15:12:32

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至尊木虫 (小有名气)

引用回帖:

10楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2014-11-06 16:28:10
FeGa靶材 1mm厚直流溅射 50W 60min. 氩气流量 17 sccm，启辉气压 0.7pa。谢谢。还是有点黑。...

请问你的FeGa靶材是在哪里做的，我问了几个地方他们都做不了

理想可以远大，目标必须现实

13楼2015-09-13 11:02:06

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金虫 (著名写手)

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净慧婍兴: 金币+6, 谢谢 2015-10-27 07:26:39

靶材中毒了，可能是靶材质量不好

用绳命来搞科研

14楼2015-10-26 15:53:39

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