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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
净慧婍兴: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 谢谢 2014-11-08 14:15:49
正常
有时候,对于某些靶材,溅射的时候就是融化和再结晶,因为结晶速度慢或者其他原因,会在溅射之后看到粗大晶粒。

比如铁、钒 铬靶
11楼2014-11-07 14:16:17
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perry_ping

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

国产的设备真空度本来就比较低,可能会出现这种情况

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
12楼2015-01-14 15:12:32
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uestclgd

至尊木虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2014-11-06 16:28:10
FeGa靶材 1mm厚  直流溅射 50W 60min.  氩气流量 17 sccm,启辉气压 0.7pa。 谢谢。还是有点黑。...

请问你的FeGa靶材是在哪里做的,我问了几个地方他们都做不了
理想可以远大,目标必须现实
13楼2015-09-13 11:02:06
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
净慧婍兴: 金币+6, 谢谢 2015-10-27 07:26:39
靶材中毒了,可能是靶材质量不好
用绳命来搞科研
14楼2015-10-26 15:53:39
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