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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射之后靶材这是怎么了? 已有3人参与

是因为功率太大了吗?
我用的是50w 溅射3h。
可以看见很多大的晶粒。原来是比较光洁的

磁控溅射之后靶材这是怎么了?
靶材
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
净慧婍兴: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 谢谢 2014-11-08 14:15:49
正常
有时候,对于某些靶材,溅射的时候就是融化和再结晶,因为结晶速度慢或者其他原因,会在溅射之后看到粗大晶粒。

比如铁、钒 铬靶
11楼2014-11-07 14:16:17
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wangaday

金虫 (小有名气)

我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料?怎么变黑了,真空不够?
2楼2014-10-29 16:06:23
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2014-10-29 16:51:13
这是很正常的啊

可能是我太敏感了。谢谢
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4楼2014-10-30 07:25:09
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wangaday at 2014-10-29 16:06:23
我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料?怎么变黑了,真空不够?

我也不知道。是FeGaa,可能是真空不够。
你的头像可爱啊。
有今生 有来生 有因果 有轮回
5楼2014-10-30 07:25:48
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