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磁控溅射之后靶材这是怎么了?
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净慧婍兴
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磁控溅射之后靶材这是怎么了?
已有3人参与
是因为功率太大了吗?
我用的是50w 溅射3h。
可以看见很多大的晶粒。原来是比较光洁的
靶材
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1楼
2014-10-28 08:15:07
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7楼
:
Originally posted by
锡伯
at 2014-11-03 13:07:18
请问你用的设备是哪里产的呢?
用的是沈科仪的
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8楼
2014-11-04 08:20:22
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wangaday
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我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料?怎么变黑了,真空不够?
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2楼
2014-10-29 16:06:23
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3楼
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Originally posted by
wu1008
at 2014-10-29 16:51:13
这是很正常的啊
可能是我太敏感了。谢谢
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4楼
2014-10-30 07:25:09
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2楼
:
Originally posted by
wangaday
at 2014-10-29 16:06:23
我用过但只是溅射15min。
没有异常。
靶材是什么材料?怎么变黑了,真空不够?
我也不知道。是FeGaa,可能是真空不够。
你的头像可爱啊。
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5楼
2014-10-30 07:25:48
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