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分子泵、机械泵真空抽不上去
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毛毛vs舍红
新虫
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专业: 金属材料表面科学与工程
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分子泵、机械泵真空抽不上去
已有2人参与
机械泵抽到3.2×104帕就降不下去了;机械泵、分子泵共同工作后,抽到0.3帕后就很基本不下降了;同时分子泵正常工作,关掉机械泵后压强就上升了,不知道是机械泵、分子泵抑或其他什么问题?恳请有经验的学长指点一下?
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1楼
2014-10-16 14:45:52
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新虫
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专业: 金属基复合材料
引用回帖:
6楼
:
Originally posted by
雨果圣洛里
at 2014-10-19 22:03:03
另外开着分子泵,为毛要关了机械泵,这样分子泵不会坏吗
请问仁兄,我的机械泵能抽到0.1Pa,是不是真空计出问题了?以前都是抽到2pa左右。。。
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8楼
2015-11-23 12:47:07
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穿越千年
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专业: 半导体材料
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【答案】应助回帖
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感谢参与,应助指数 +1
毛毛vs舍红: 金币+25,
★★★
很有帮助
2014-10-23 19:04:54
如果密封情况良好,机械泵能在很快的情况下抽到几Pa,如果分子泵开始工作气压反而上升说明密封效果很差,具体是哪些地方可能漏气要根据你的装备的具体情况而定,建议你上传一张你们装置的图片。如果装置本身有旋转轴的,那轴部漏气的可能性是最大的。
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热电材料,相变材料,阻变材料,APT,EBSD
2楼
2014-10-16 21:27:10
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metaliium
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
漏气,这还用问?
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3楼
2014-10-17 07:18:47
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shunsun
铁虫
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注册: 2009-08-08
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程
你可真是大胆,10的4次方帕斯卡,你就开分子泵,不怕分子泵挂了。漏气,好好的捡漏吧
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糟心的工作!!!!!!!!!!!!
4楼
2014-10-17 09:10:02
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