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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？
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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？ 已有5人参与

如题，氨气有腐蚀性，怕腐蚀分子泵，能不能通？或者有什么解决办法？
谢谢
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1楼 2010-05-26 10:18:00
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lvbo

金虫 (小有名气)
Atma(金币+1):谢谢回复 2010-06-10 16:59:24
氨气对铜腐蚀严重，不锈钢问题不大
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2楼2010-05-26 12:02:12
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Atma

木虫 (小有名气)
没人知道么？？
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3楼2010-06-10 16:59:43
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zguan

木虫 (正式写手)
这个问题要看你用的是什么泵，不同的泵适合不同的气体。联系厂家，咨询是否可通氨气。
还有泵内用的是什么油，这些油对气体也是有要求的
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4楼2010-06-10 23:08:28
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Atma

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zguan at 2010-06-10 23:08:28:
这个问题要看你用的是什么泵，不同的泵适合不同的气体。联系厂家，咨询是否可通氨气。
还有泵内用的是什么油，这些油对气体也是有要求的

涡轮分子泵，说明书上写着不要通腐蚀性气体
但我们实验要求，通少量的不知问题大不大？
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5楼2010-06-19 16:04:32
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dianziwei

金虫 (小有名气)
应该没什么问题吧
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逆水行舟，不进则退！
6楼2010-06-19 18:30:03
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zguan

木虫 (正式写手)
Atma(金币+2):谢谢！ 2010-06-20 19:16:31
引用回帖:
Originally posted by Atma at 2010-06-18 20:04:32:


涡轮分子泵，说明书上写着不要通腐蚀性气体
但我们实验要求，通少量的不知问题大不大？

涡轮分子泵是靠 一组组的涡轮转动 叶片撞击气体分子 给以一定方向的动能达到真空效果，可能会损坏涡轮叶片
还有，涡轮分子泵一般需要另一个泵提（比如转动叶片泵）供一个较低的气压，所以另一个泵是否适用于腐蚀气体也需要考虑
问问厂家吧 看看他们有什么建议 再跟老师商量
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7楼2010-06-20 09:34:13
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pptang

荣誉版主 (著名写手)
Atma(金币+2):谢谢！ 2010-06-20 19:16:48
用是可以用的，但是分子泵的寿命会减少很多，而且这个会对轴承腐蚀很厉害，所以维修费用也很贵，国产的KYKY的你去换个轴承还要一万多，如果进口的就更贵了
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您的支持，是我的动力！！！
8楼2010-06-20 10:49:01
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