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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体? 已有5人参与

如题,氨气有腐蚀性,怕腐蚀分子泵,能不能通?或者有什么解决办法?
谢谢
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lvbo

金虫 (小有名气)

Atma(金币+1):谢谢回复 2010-06-10 16:59:24
氨气对铜腐蚀严重,不锈钢问题不大
2楼2010-05-26 12:02:12
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Atma

木虫 (小有名气)

没人知道么??
3楼2010-06-10 16:59:43
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zguan

木虫 (正式写手)

这个问题要看你用的是什么泵,不同的泵适合不同的气体。联系厂家,咨询是否可通氨气。
还有泵内用的是什么油,这些油对气体也是有要求的
4楼2010-06-10 23:08:28
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Atma

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by zguan at 2010-06-10 23:08:28:
这个问题要看你用的是什么泵,不同的泵适合不同的气体。联系厂家,咨询是否可通氨气。
还有泵内用的是什么油,这些油对气体也是有要求的

涡轮分子泵,说明书上写着不要通腐蚀性气体
但我们实验要求,通少量的不知问题大不大?
5楼2010-06-19 16:04:32
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dianziwei

金虫 (小有名气)

应该没什么问题吧
逆水行舟,不进则退!
6楼2010-06-19 18:30:03
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zguan

木虫 (正式写手)

Atma(金币+2):谢谢! 2010-06-20 19:16:31
引用回帖:
Originally posted by Atma at 2010-06-18 20:04:32:


涡轮分子泵,说明书上写着不要通腐蚀性气体
但我们实验要求,通少量的不知问题大不大?

涡轮分子泵是靠 一组组的涡轮转动 叶片撞击气体分子 给以一定方向的动能达到真空效果,可能会损坏涡轮叶片
还有,涡轮分子泵一般需要另一个泵提(比如转动叶片泵)供一个较低的气压,所以另一个泵是否适用于腐蚀气体也需要考虑
问问厂家吧 看看他们有什么建议 再跟老师商量
7楼2010-06-20 09:34:13
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pptang

荣誉版主 (著名写手)

Atma(金币+2):谢谢! 2010-06-20 19:16:48
用是可以用的,但是分子泵的寿命会减少很多,而且这个会对轴承腐蚀很厉害,所以维修费用也很贵,国产的KYKY的你去换个轴承还要一万多,如果进口的就更贵了
您的支持,是我的动力!!!
8楼2010-06-20 10:49:01
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