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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？
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Atma

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？ 已有5人参与

如题，氨气有腐蚀性，怕腐蚀分子泵，能不能通？或者有什么解决办法？
谢谢
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1楼 2010-05-26 10:18:00
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Atma

木虫 (小有名气)
没人知道么？？
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3楼2010-06-10 16:59:43
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Atma

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zguan at 2010-06-10 23:08:28:
这个问题要看你用的是什么泵，不同的泵适合不同的气体。联系厂家，咨询是否可通氨气。
还有泵内用的是什么油，这些油对气体也是有要求的

涡轮分子泵，说明书上写着不要通腐蚀性气体
但我们实验要求，通少量的不知问题大不大？
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5楼2010-06-19 16:04:32
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