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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 德国的IAF MPCVD设备问题
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木虫 (小有名气)

[交流] 德国的IAF MPCVD设备问题 已有4人参与

有人研究过IAF 的MPCVD的设备吗？他的主设备外形很有特点，是椭圆的。请教一下，这样设计的原因和优点。
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1楼 2011-03-25 10:13:09
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gcjx

金虫 (小有名气)
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这种装置的反应腔同石英钟罩式MPCVD装置的相似，也由金属谐振腔和石英钟罩组成。装置中微波天线的发射端位于椭球的上焦点处，而处于低压下的沉积台位于椭球的下焦点处。椭球形谐振腔式MPCVD装置巧妙地利用了电磁波的反射和椭球具有双焦点的特性，使微波经模式转换器转换耦合进椭球形谐振腔后，从椭球的上焦点发出，在椭球的下焦点聚焦出一强的电场区域，使处于低压下的反应气体激发、产生出等离子体。这种装置最显著的优点是其对微波电场能量的聚集能力强，微波能量被集中于样品台的上方，避免了次生等离子体区域的产生。该装置与石英钟罩式MPCVD装置的不同之处除了谐振腔的形状不同以外，还在于前者的石英钟罩的尺寸较大。尺寸较大的石英钟罩使其可远离等离子体区域，因而可避免因被等离子体刻蚀造成对金刚石膜的污染。
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2楼2012-01-31 14:50:58
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gcjx

金虫 (小有名气)
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目前北京科技大学已经研制并建立了这种装置，2.45GHZ的，并把沉积功率提高到了8kw以上。也实现了大面积（大于2英寸）电子级金刚石膜的快速沉积(沉积速率达到4μm/h左右)。
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3楼2012-01-31 14:55:52
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741741741

金虫 (正式写手)
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1341708楼: Originally posted by gcjx at 2012-01-31 14:50:58:
这种装置的反应腔同石英钟罩式MPCVD装置的相似，也由金属谐振腔和石英钟罩组成。装置中微波天线的发射端位于椭球的上焦点处，而处于低压下的沉积台位于椭球的下焦点处。椭球形谐振腔式MPCVD装置巧妙地利用了电磁波 ...

鍝堝搱锛屽ソ鐗涘晩锛岀墰浜哄晩
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坚持梦想
4楼2012-04-05 21:46:22
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weihuai

铁虫 (初入文坛)
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2楼: Originally posted by gcjx at 2012-01-31 14:50:58
这种装置的反应腔同石英钟罩式MPCVD装置的相似，也由金属谐振腔和石英钟罩组成。装置中微波天线的发射端位于椭球的上焦点处，而处于低压下的沉积台位于椭球的下焦点处。椭球形谐振腔式MPCVD装置巧妙地利用了电磁波的 ...

请问有哪些高校有MPCVD沉积设备
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5楼2013-09-13 14:51:24
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weihuai

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gcjx at 2012-01-31 14:55:52
目前北京科技大学已经研制并建立了这种装置，2.45GHZ的，并把沉积功率提高到了8kw以上。也实现了大面积（大于2英寸）电子级金刚石膜的快速沉积(沉积速率达到4μm/h左右)。

请问国内有哪些高校有MPCVD沉积设备
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Help myself, to help others!
6楼2013-09-13 14:53:16
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gaopan1991

银虫 (初入文坛)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by weihuai at 2013-09-13 14:53:16
请问国内有哪些高校有MPCVD沉积设备...

武汉工程大学等离子重点实验室
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知识是无穷的，就看你学不学
7楼2015-06-17 15:51:29
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