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657466457木虫 (小有名气)
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[交流]
德国的IAF MPCVD设备问题 已有4人参与
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| 有人研究过IAF 的MPCVD的设备吗？他的主设备外形很有特点，是椭圆的。请教一下，这样设计的原因和优点。 |
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金虫 (正式写手)
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4楼2012-04-05 21:46:22
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
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| 这种装置的反应腔同石英钟罩式MPCVD装置的相似，也由金属谐振腔和石英钟罩组成。装置中微波天线的发射端位于椭球的上焦点处，而处于低压下的沉积台位于椭球的下焦点处。椭球形谐振腔式MPCVD装置巧妙地利用了电磁波的反射和椭球具有双焦点的特性，使微波经模式转换器转换耦合进椭球形谐振腔后，从椭球的上焦点发出，在椭球的下焦点聚焦出一强的电场区域，使处于低压下的反应气体激发、产生出等离子体。这种装置最显著的优点是其对微波电场能量的聚集能力强，微波能量被集中于样品台的上方，避免了次生等离子体区域的产生。该装置与石英钟罩式MPCVD装置的不同之处除了谐振腔的形状不同以外，还在于前者的石英钟罩的尺寸较大。尺寸较大的石英钟罩使其可远离等离子体区域，因而可避免因被等离子体刻蚀造成对金刚石膜的污染。 |
2楼2012-01-31 14:50:58
3楼2012-01-31 14:55:52
5楼2013-09-13 14:51:24
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