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caojian_928

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】CVD相关问题 已有3人参与

为什么有的CVD有三个温区呢?一般的两个就够用了,设计三个温区是为什么呢?
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我是单立人

新虫 (初入文坛)

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金光闪闪2010(金币+1): 我是单立人 这个名独特 2011-03-28 20:19:35
看你用的什么CVD了,低压的话就是三个温区,两个是加热区一个是恒温区,这和气体通过汇略微降低反应区温度有关吧
2楼2011-03-28 19:18:27
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380677864

木虫 (正式写手)

★ ★
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金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-03 17:24:21
管式的?与加热电阻的分布有关,就是管内存在的三个近似恒温场。提供的温度环境多,更容易满足实验要求,尤其是要瞬间操作改变试验温度环境的
3楼2011-03-28 20:46:27
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wuli_ml

银虫 (正式写手)

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金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-03 17:24:26
有篇Nature letters 用到三个温区,两个是对原料加热的温区,另外一个是沉底的温区
Complete composition tunability of InGaN nanowires using a combinatorial approach
于千万年之间,于千万人之中,早一步,晚一步,刚刚好遇到。
4楼2011-05-03 15:03:34
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