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【求助】CVD相关问题
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caojian_928
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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【求助】CVD相关问题
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为什么有的CVD有三个温区呢?一般的两个就够用了,设计三个温区是为什么呢?
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2011-03-13 18:43:14
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专业: 半导体材料
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金光闪闪2010(金币+1): 我是单立人 这个名独特 2011-03-28 20:19:35
看你用的什么CVD了,低压的话就是三个温区,两个是加热区一个是恒温区,这和气体通过汇略微降低反应区温度有关吧
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2楼
2011-03-28 19:18:27
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专业: 电工材料特性及其应用
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金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-03 17:24:21
管式的?与加热电阻的分布有关,就是管内存在的三个近似恒温场。提供的温度环境多,更容易满足实验要求,尤其是要瞬间操作改变试验温度环境的
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3楼
2011-03-28 20:46:27
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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金光闪闪2010(金币+1): 2011-05-03 17:24:26
有篇Nature letters 用到三个温区,两个是对原料加热的温区,另外一个是沉底的温区
Complete composition tunability of InGaN nanowires using a combinatorial approach
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于千万年之间,于千万人之中,早一步,晚一步,刚刚好遇到。
4楼
2011-05-03 15:03:34
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