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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD合成纳米线的压力控制问题
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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友，在用CVD方法合成纳米线时，在真空泵工作和载气量保持一定的条件下，想要控制管中的气压，是通过什么设备实现的（例如，在没有控压装置时，可能100sccm的氩气就是1Torr，但是有了控压装置，就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等）？哪位可以给一些参考信息，万分感谢！
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1楼 2011-06-01 16:26:28
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gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
ZGmse(金币+2): 但是这种方法，气压控制范围很窄啊。 2011-06-02 14:56:39
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-04 23:15:40
我在实验室用CVD生长硅线时，保持流量计气流不变的情况下，气压是通过调节机械泵抽气口的大小来控制气压的~不知道你那里是否可以~
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纳米材料（一维硅纳米材料）交流学习
2楼2011-06-02 10:40:27
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ZGmse

木虫 (小有名气)
顶顶，希望广大虫友进一步指点。
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3楼2011-06-04 13:23:21
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ZGmse

木虫 (小有名气)
继续顶！！！！！
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4楼2011-06-04 18:10:14
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ZGmse

木虫 (小有名气)
没有虫友可以进一步指导下吗？
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5楼2011-06-07 19:41:09
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dugu

木虫 (小有名气)
用针阀可以很方便的控制腔压。
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书生老去机会方来
6楼2011-08-19 14:16:45
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ZGmse

木虫 (小有名气)
感谢你回复我的帖子，用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压？如果这样的话，那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了？
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7楼2011-08-19 14:24:51
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ZGmse

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

感谢你回复我的帖子，用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压？如果这样的话，那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了？ 还有针阀能实现由高压向低压的调节吗？非常感谢！
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8楼2011-08-20 02:38:11
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dugu

木虫 (小有名气)
如你所说，一般针阀是加在反应腔和抽气端之间，通过针孔的大小来调节抽气速率。
如果腔压保持恒定，腔体必定处于动态平衡，进气量=出气量，楼主不必担心流入流出不同。

PS：针阀的作用应该是调节机械泵的抽气速率 L/min，阀门全开，机械泵能以100%速率抽气，阀门旋紧，机械泵抽气速率下降。但要维系腔体的动态平衡，抽出量必定等于进气量。
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书生老去机会方来
9楼2011-08-20 14:01:36
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ZGmse

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

请问您所说的针阀是这种东西吗？我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了，但是我发现这个好像只能起到开关的作用，几乎控制不了压力；并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话，原料大量蒸发，这个就很容易被堵住。

如果不是这样的东西的话，您能给提供一点有价值的信息吗？哪种针阀好用啊？
非常感谢您！
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10楼2012-02-03 00:17:12
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