24小时热门版块排行榜    

查看: 2471  |  回复: 11

ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友,在用CVD方法合成纳米线时,在真空泵工作和载气量保持一定的条件下,想要控制管中的气压,是通过什么设备实现的(例如,在没有控压装置时,可能100sccm的氩气就是1Torr,但是有了控压装置,就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等)?哪位可以给一些参考信息,万分感谢!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


ZGmse(金币+2): 但是这种方法,气压控制范围很窄啊。 2011-06-02 14:56:39
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-04 23:15:40
我在实验室用CVD生长硅线时,保持流量计气流不变的情况下,气压是通过调节机械泵抽气口的大小来控制气压的~不知道你那里是否可以~
纳米材料(一维硅纳米材料)交流学习
2楼2011-06-02 10:40:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

顶顶,希望广大虫友进一步指点。
3楼2011-06-04 13:23:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

继续顶!!!!!
4楼2011-06-04 18:10:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

没有虫友可以进一步指导下吗?
5楼2011-06-07 19:41:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dugu

木虫 (小有名气)

用针阀可以很方便的控制腔压。
书生老去机会方来
6楼2011-08-19 14:16:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

感谢你回复我的帖子,用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压?如果这样的话,那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了?
7楼2011-08-19 14:24:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

感谢你回复我的帖子,用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压?如果这样的话,那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了? 还有针阀能实现由高压向低压的调节吗?非常感谢!
8楼2011-08-20 02:38:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dugu

木虫 (小有名气)

如你所说,一般针阀是加在反应腔和抽气端之间,通过针孔的大小来调节抽气速率。
如果腔压保持恒定,腔体必定处于动态平衡,进气量=出气量,楼主不必担心流入流出不同。

PS:针阀的作用应该是调节机械泵的抽气速率 L/min,阀门全开,机械泵能以100%速率抽气,阀门旋紧,机械泵抽气速率下降。但要维系腔体的动态平衡,抽出量必定等于进气量。
书生老去机会方来
9楼2011-08-20 14:01:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZGmse

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

请问您所说的针阀是这种东西吗?我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了,但是我发现这个好像只能起到开关的作用,几乎控制不了压力;并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话,原料大量蒸发,这个就很容易被堵住。

如果不是这样的东西的话,您能给提供一点有价值的信息吗?哪种针阀好用啊?
非常感谢您!


10楼2012-02-03 00:17:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ZGmse 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +46 医学老男孩 2026-08-13 103/5150 2026-08-18 15:33 by dcqxinyang
[基金申请] 明天放榜? +3 Shxjjxjkx 2026-08-18 3/150 2026-08-18 15:32 by a441914426
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +6 yuleib84 2026-08-18 7/350 2026-08-18 15:02 by sytp
[教师之家] 两姐妹,一个辛辛苦苦30岁工作当大学教师,另一个23岁就工作当开车教练 +3 瞬息宇宙 2026-08-11 5/250 2026-08-18 14:55 by LNP@mRNA
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 8/400 2026-08-18 11:47 by gltch
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +5 基诺咪客 2026-08-17 6/300 2026-08-18 11:06 by hunter无悔
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 26/1300 2026-08-16 12:35 by 启萌科技
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
信息提示
请填处理意见