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ZGmse木虫 (小有名气)
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CVD合成纳米线的压力控制问题
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| 请教各位虫友，在用CVD方法合成纳米线时，在真空泵工作和载气量保持一定的条件下，想要控制管中的气压，是通过什么设备实现的（例如，在没有控压装置时，可能100sccm的氩气就是1Torr，但是有了控压装置，就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等）？哪位可以给一些参考信息，万分感谢！ |
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2楼2011-06-02 10:40:27
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