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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友,在用CVD方法合成纳米线时,在真空泵工作和载气量保持一定的条件下,想要控制管中的气压,是通过什么设备实现的(例如,在没有控压装置时,可能100sccm的氩气就是1Torr,但是有了控压装置,就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等)?哪位可以给一些参考信息,万分感谢!
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ZGmse

木虫 (小有名气)

顶顶,希望广大虫友进一步指点。
3楼2011-06-04 13:23:21
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ZGmse

木虫 (小有名气)

继续顶!!!!!
4楼2011-06-04 18:10:14
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ZGmse

木虫 (小有名气)

没有虫友可以进一步指导下吗?
5楼2011-06-07 19:41:09
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ZGmse

木虫 (小有名气)

感谢你回复我的帖子,用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压?如果这样的话,那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了?
7楼2011-08-19 14:24:51
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ZGmse

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

感谢你回复我的帖子,用针阀是不是通过调节气体流出通道的大小来控制腔压?如果这样的话,那气体流入管中的速度和流出的速度不是不一样了? 还有针阀能实现由高压向低压的调节吗?非常感谢!
8楼2011-08-20 02:38:11
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ZGmse

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by dugu at 2011-08-19 14:16:45:
用针阀可以很方便的控制腔压。

请问您所说的针阀是这种东西吗?我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了,但是我发现这个好像只能起到开关的作用,几乎控制不了压力;并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话,原料大量蒸发,这个就很容易被堵住。

如果不是这样的东西的话,您能给提供一点有价值的信息吗?哪种针阀好用啊?
非常感谢您!


10楼2012-02-03 00:17:12
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