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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】紧急求助，关于CVD管内压强的问题
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ZGmse

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】紧急求助，关于CVD管内压强的问题

各位虫友，本人用CVD法合成纳米线，但是发现一个问题是，当我用100sccm的氩气时，压强表显示是2.2Torr；但当我用50sccm氢气时，压强表显示的却是300多Torr，为什么气体流量减少了一半，而压强却增大了一百多倍呢？这是什么原因呢？我合成的材料很容易被氧化，是不是通的氢气混入了氧气，令压强增大这么多？有没有熟悉这方面的朋友，恳求帮帮忙解答下。
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haosonghappy

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1楼 2011-03-08 13:15:37
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chenliangx

新虫 (初入文坛)
xjajx: 鼓励参与 2011-03-08 17:49:56
ZGmse(金币+1): 谢谢参与！急求解答，谢谢！ 2011-03-08 18:52:28
2.2 Torr，这很低啊
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2楼2011-03-08 16:03:01
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ZGmse

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by chenliangx at 2011-03-08 16:03:01:
2.2 Torr，这很低啊

请问这有没有什么不对的地方呢？
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3楼2011-03-08 18:54:52
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chenliangx

新虫 (初入文坛)
★
xjajx(金币+1): 鼓励参与 2011-03-09 17:23:41
引用回帖:
Originally posted by ZGmse at 2011-03-08 02:54:52:
请问这有没有什么不对的地方呢？

我不清楚，但我做碳管用low pressure一般也就500torr。
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4楼2011-03-09 15:40:18
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golish

银虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 影响因素很多 2011-05-28 21:39:48
这个是与你的压强计有关的，皮拉尼，离子，热偶等真空计都是气体敏感的，不同气体有转换系数
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5楼2011-05-28 10:52:17
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haosonghappy

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
你好，我也遇到类似问题，请问你最终是怎么解决的呢？
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6楼2014-08-26 18:01:26
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ZGmse

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by haosonghappy at 2014-08-26 18:01:26
你好，我也遇到类似问题，请问你最终是怎么解决的呢？

您好，只要是确实检查气密性没有问题了，这个问题我索性就不把它当问题了，可能是氢气本身产生的压强就是比氩气的大很多。后来，压强传感器坏了，我就不用它了，还是一样可以进行合成实验的。可能刚开始，担心比较多。做出经验就没事了。
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7楼2014-08-27 08:28:51
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