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ZGmse

木虫 (小有名气)


[交流] 【请教】紧急求助,关于CVD管内压强的问题

各位虫友,本人用CVD法合成纳米线,但是发现一个问题是,当我用100sccm的氩气时,压强表显示是2.2Torr;但当我用50sccm氢气时,压强表显示的却是300多Torr,为什么气体流量减少了一半,而压强却增大了一百多倍呢?这是什么原因呢?我合成的材料很容易被氧化,是不是通的氢气混入了氧气,令压强增大这么多?有没有熟悉这方面的朋友,恳求帮帮忙解答下。
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ZGmse

木虫 (小有名气)


引用回帖:
Originally posted by chenliangx at 2011-03-08 16:03:01:
2.2 Torr,这很低啊

请问这有没有什么不对的地方呢?
3楼2011-03-08 18:54:52
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查看全部 7 个回答

chenliangx

新虫 (初入文坛)


xjajx: 鼓励参与 2011-03-08 17:49:56
ZGmse(金币+1): 谢谢参与!急求解答,谢谢! 2011-03-08 18:52:28
2.2 Torr,这很低啊
2楼2011-03-08 16:03:01
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chenliangx

新虫 (初入文坛)



xjajx(金币+1): 鼓励参与 2011-03-09 17:23:41
引用回帖:
Originally posted by ZGmse at 2011-03-08 02:54:52:
请问这有没有什么不对的地方呢?

我不清楚,但我做碳管用low pressure一般也就500torr。
4楼2011-03-09 15:40:18
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golish

银虫 (初入文坛)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 影响因素很多 2011-05-28 21:39:48
这个是与你的压强计有关的,皮拉尼,离子,热偶等真空计都是气体敏感的,不同气体有转换系数
5楼2011-05-28 10:52:17
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