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【请教】紧急求助,关于CVD管内压强的问题
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ZGmse
木虫
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[交流]
【请教】紧急求助,关于CVD管内压强的问题
各位虫友,本人用CVD法合成纳米线,但是发现一个问题是,当我用100sccm的氩气时,压强表显示是2.2Torr;但当我用50sccm氢气时,压强表显示的却是300多Torr,为什么气体流量减少了一半,而压强却增大了一百多倍呢?这是什么原因呢?我合成的材料很容易被氧化,是不是通的氢气混入了氧气,令压强增大这么多?有没有熟悉这方面的朋友,恳求帮帮忙解答下。
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haosonghappy
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2011-03-08 13:15:37
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haosonghappy
铁杆木虫
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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你好,我也遇到类似问题,请问你最终是怎么解决的呢?
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6楼
2014-08-26 18:01:26
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chenliangx
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xjajx: 鼓励参与 2011-03-08 17:49:56
ZGmse(金币+1): 谢谢参与!急求解答,谢谢! 2011-03-08 18:52:28
2.2 Torr,这很低啊
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2011-03-08 16:03:01
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ZGmse
木虫
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引用回帖:
Originally posted by
chenliangx
at 2011-03-08 16:03:01:
2.2 Torr,这很低啊
请问这有没有什么不对的地方呢?
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3楼
2011-03-08 18:54:52
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chenliangx
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xjajx(金币+1): 鼓励参与 2011-03-09 17:23:41
引用回帖:
Originally posted by
ZGmse
at 2011-03-08 02:54:52:
请问这有没有什么不对的地方呢?
我不清楚,但我做碳管用low pressure一般也就500torr。
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4楼
2011-03-09 15:40:18
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