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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于CVD做裂解碳材料0石墨烯过程中压强与气体流量的问题~~
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七月未迟

铜虫 (小有名气)

[求助] 关于CVD做裂解碳材料0石墨烯过程中压强与气体流量的问题~~

目前做CVD石墨烯有两种常压和低压的CVD方法，不知道有人做过LPCVD没，压强是通过石墨做到的，难道和流量有关吗？请教了，如果和流量有关，那么流量（SCCM）大小和压强(BAR)大小有什么对应关系吗！！
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执拗于过去，只是因为看不到未来。
1楼 2011-10-16 15:35:16
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七月未迟

铜虫 (小有名气)
就是文献里面很少提到，只是给出压强值，所以才能交流交流  既然有很多人做过~~咋没人回帖啊
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执拗于过去，只是因为看不到未来。
2楼2011-10-17 13:52:10
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melyan

木虫 (正式写手)
关注一下此题目哦
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3楼2011-10-17 14:52:03
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七月未迟

铜虫 (小有名气)
★
nuaajsh(金币+1): 谢谢分享 2011-12-08 15:54:49
好吧~~我发现有些人做的时候，通气之前是要抽真空的  貌似与气流量无关。。。。
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执拗于过去，只是因为看不到未来。
4楼2011-11-01 14:25:18
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