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关于CVD做裂解碳材料0石墨烯过程中压强与气体流量的问题~~
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| 目前做CVD石墨烯有两种常压和低压的CVD方法，不知道有人做过LPCVD没，压强是通过石墨做到的，难道和流量有关吗？请教了，如果和流量有关，那么流量（SCCM）大小和压强(BAR)大小有什么对应关系吗！！ |
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2楼2011-10-17 13:52:10
melyan
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3楼2011-10-17 14:52:03
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