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【请教】紧急求助,关于CVD管内压强的问题
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| 各位虫友,本人用CVD法合成纳米线,但是发现一个问题是,当我用100sccm的氩气时,压强表显示是2.2Torr;但当我用50sccm氢气时,压强表显示的却是300多Torr,为什么气体流量减少了一半,而压强却增大了一百多倍呢?这是什么原因呢?我合成的材料很容易被氧化,是不是通的氢气混入了氧气,令压强增大这么多?有没有熟悉这方面的朋友,恳求帮帮忙解答下。 |
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