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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD合成纳米线的压力控制问题
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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友，在用CVD方法合成纳米线时，在真空泵工作和载气量保持一定的条件下，想要控制管中的气压，是通过什么设备实现的（例如，在没有控压装置时，可能100sccm的氩气就是1Torr，但是有了控压装置，就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等）？哪位可以给一些参考信息，万分感谢！
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1楼 2011-06-01 16:26:28
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gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
ZGmse(金币+2): 但是这种方法，气压控制范围很窄啊。 2011-06-02 14:56:39
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-04 23:15:40
我在实验室用CVD生长硅线时，保持流量计气流不变的情况下，气压是通过调节机械泵抽气口的大小来控制气压的~不知道你那里是否可以~
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纳米材料（一维硅纳米材料）交流学习
2楼2011-06-02 10:40:27
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