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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD合成纳米线的压力控制问题
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dugu

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2345670楼: Originally posted by ZGmse at 2012-02-03 00:17:12:
请问您所说的针阀是这种东西吗？我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了，但是我发现这个好像只能起到开关的作用，几乎控制不了压力；并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话，原料大量蒸发， ...

楼主可以问下做真空装置的公司咨询下针阀，一般市场上买的几十块的阀门根本无法精细调节，可能就是个截止阀。RF溅射或PLD腔上配的针阀或蝶阀能很精细得调节压力。欧洲产的针阀人民币接近1W了，楼主可以问下有无国产高端针阀。

对于孔堵塞，如果蒸发非常剧烈的话，可对针阀前级的管道进行降温，使气态源尽量过冷凝结。若还不行，就需加过滤器。

祝好运！
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书生老去机会方来
11楼2012-03-28 14:18:50
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mackfzg

铜虫 (小有名气)
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tt.yao: 金币-50, 屏蔽内容, 违规存档, 禁止广告 2012-09-27 21:28:53
本帖内容被屏蔽
12楼2012-04-09 21:15:31
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