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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD合成纳米线的压力控制问题
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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友，在用CVD方法合成纳米线时，在真空泵工作和载气量保持一定的条件下，想要控制管中的气压，是通过什么设备实现的（例如，在没有控压装置时，可能100sccm的氩气就是1Torr，但是有了控压装置，就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等）？哪位可以给一些参考信息，万分感谢！
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1楼 2011-06-01 16:26:28
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dugu

木虫 (小有名气)
用针阀可以很方便的控制腔压。
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书生老去机会方来
6楼2011-08-19 14:16:45
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dugu

木虫 (小有名气)
如你所说，一般针阀是加在反应腔和抽气端之间，通过针孔的大小来调节抽气速率。
如果腔压保持恒定，腔体必定处于动态平衡，进气量=出气量，楼主不必担心流入流出不同。

PS：针阀的作用应该是调节机械泵的抽气速率 L/min，阀门全开，机械泵能以100%速率抽气，阀门旋紧，机械泵抽气速率下降。但要维系腔体的动态平衡，抽出量必定等于进气量。
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书生老去机会方来
9楼2011-08-20 14:01:36
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dugu

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2345670楼: Originally posted by ZGmse at 2012-02-03 00:17:12:
请问您所说的针阀是这种东西吗？我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了，但是我发现这个好像只能起到开关的作用，几乎控制不了压力；并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话，原料大量蒸发， ...

楼主可以问下做真空装置的公司咨询下针阀，一般市场上买的几十块的阀门根本无法精细调节，可能就是个截止阀。RF溅射或PLD腔上配的针阀或蝶阀能很精细得调节压力。欧洲产的针阀人民币接近1W了，楼主可以问下有无国产高端针阀。

对于孔堵塞，如果蒸发非常剧烈的话，可对针阀前级的管道进行降温，使气态源尽量过冷凝结。若还不行，就需加过滤器。

祝好运！
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书生老去机会方来
11楼2012-03-28 14:18:50
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