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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友,在用CVD方法合成纳米线时,在真空泵工作和载气量保持一定的条件下,想要控制管中的气压,是通过什么设备实现的(例如,在没有控压装置时,可能100sccm的氩气就是1Torr,但是有了控压装置,就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等)?哪位可以给一些参考信息,万分感谢!
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dugu

木虫 (小有名气)

用针阀可以很方便的控制腔压。
书生老去机会方来
6楼2011-08-19 14:16:45
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gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


ZGmse(金币+2): 但是这种方法,气压控制范围很窄啊。 2011-06-02 14:56:39
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-04 23:15:40
我在实验室用CVD生长硅线时,保持流量计气流不变的情况下,气压是通过调节机械泵抽气口的大小来控制气压的~不知道你那里是否可以~
纳米材料(一维硅纳米材料)交流学习
2楼2011-06-02 10:40:27
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ZGmse

木虫 (小有名气)

顶顶,希望广大虫友进一步指点。
3楼2011-06-04 13:23:21
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ZGmse

木虫 (小有名气)

继续顶!!!!!
4楼2011-06-04 18:10:14
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