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ZGmse

木虫 (小有名气)

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虫号: 1012826
注册: 2010-05-06
专业: 其他无机非金属材料

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友，在用CVD方法合成纳米线时，在真空泵工作和载气量保持一定的条件下，想要控制管中的气压，是通过什么设备实现的（例如，在没有控压装置时，可能100sccm的氩气就是1Torr，但是有了控压装置，就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等）？哪位可以给一些参考信息，万分感谢！

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1楼 2011-06-01 16:26:28

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dugu

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

如你所说，一般针阀是加在反应腔和抽气端之间，通过针孔的大小来调节抽气速率。
如果腔压保持恒定，腔体必定处于动态平衡，进气量=出气量，楼主不必担心流入流出不同。

PS：针阀的作用应该是调节机械泵的抽气速率 L/min，阀门全开，机械泵能以100%速率抽气，阀门旋紧，机械泵抽气速率下降。但要维系腔体的动态平衡，抽出量必定等于进气量。