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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线的压力控制问题

请教各位虫友,在用CVD方法合成纳米线时,在真空泵工作和载气量保持一定的条件下,想要控制管中的气压,是通过什么设备实现的(例如,在没有控压装置时,可能100sccm的氩气就是1Torr,但是有了控压装置,就可以将气压调节至100Torr或者700Torr等)?哪位可以给一些参考信息,万分感谢!
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dugu

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2345670楼: Originally posted by ZGmse at 2012-02-03 00:17:12:
请问您所说的针阀是这种东西吗?我实验室的师兄把这个接在了真空泵和压力表之间了,但是我发现这个好像只能起到开关的作用,几乎控制不了压力;并且还有一个问题就是如果用的加热温度比较高的话,原料大量蒸发, ...

楼主可以问下做真空装置的公司咨询下针阀,一般市场上买的几十块的阀门根本无法精细调节,可能就是个截止阀。RF溅射或PLD腔上配的针阀或蝶阀能很精细得调节压力。欧洲产的针阀人民币接近1W了,楼主可以问下有无国产高端针阀。

对于孔堵塞,如果蒸发非常剧烈的话,可对针阀前级的管道进行降温,使气态源尽量过冷凝结。若还不行,就需加过滤器。

祝好运!
书生老去机会方来
11楼2012-03-28 14:18:50
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gl_zju

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


ZGmse(金币+2): 但是这种方法,气压控制范围很窄啊。 2011-06-02 14:56:39
wandaohzl(金币+1): 鼓励交流 2011-06-04 23:15:40
我在实验室用CVD生长硅线时,保持流量计气流不变的情况下,气压是通过调节机械泵抽气口的大小来控制气压的~不知道你那里是否可以~
纳米材料(一维硅纳米材料)交流学习
2楼2011-06-02 10:40:27
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ZGmse

木虫 (小有名气)

顶顶,希望广大虫友进一步指点。
3楼2011-06-04 13:23:21
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ZGmse

木虫 (小有名气)

继续顶!!!!!
4楼2011-06-04 18:10:14
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