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sxw406

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】硅纳米线,CVD生长问题

打算用CVD方法张硅纳米线,要用到硅烷,silane,SiH4。
有人讲硅烷特别易燃,比氢气还严重,请问,操作的时候该注意什么?
谢谢。
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gq_jiang

铁虫 (初入文坛)

sxw406(金币+1): 2 2011-04-25 21:11:01
sxw406(金币+1): 2011-04-26 02:00:35
是的,硅烷遇到空气立刻自燃,生长容器与气瓶管道要严格密封,剧排装置和各种安全都要考虑了
2楼2010-12-15 22:50:22
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lzusxl

木虫 (文坛精英)

引用回帖:
Originally posted by sxw406 at 2010-10-19 02:30:33:
打算用CVD方法张硅纳米线,要用到硅烷,silane,SiH4。
有人讲硅烷特别易燃,比氢气还严重,请问,操作的时候该注意什么?
谢谢。

你还是小心点吧~ SiH4可不是玩的~
3楼2010-12-18 22:27:01
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lzusxl

木虫 (文坛精英)

只要泄露..你就等着身体有SiO2 颗粒吧~  这个东西危险到 日本 香港都是不让用的....
4楼2010-12-18 22:28:57
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