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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】硅纳米线，CVD生长问题
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sxw406

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】硅纳米线，CVD生长问题

打算用CVD方法张硅纳米线，要用到硅烷，silane，SiH4。
有人讲硅烷特别易燃，比氢气还严重，请问，操作的时候该注意什么？
谢谢。
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1楼 2010-10-19 02:30:33
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gq_jiang

铁虫 (初入文坛)
sxw406(金币+1): 2 2011-04-25 21:11:01
sxw406(金币+1): 2011-04-26 02:00:35
是的，硅烷遇到空气立刻自燃，生长容器与气瓶管道要严格密封，剧排装置和各种安全都要考虑了
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2楼2010-12-15 22:50:22
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lzusxl

木虫 (文坛精英)
引用回帖:
Originally posted by sxw406 at 2010-10-19 02:30:33:
打算用CVD方法张硅纳米线，要用到硅烷，silane，SiH4。
有人讲硅烷特别易燃，比氢气还严重，请问，操作的时候该注意什么？
谢谢。

你还是小心点吧~ SiH4可不是玩的~
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3楼2010-12-18 22:27:01
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lzusxl

木虫 (文坛精英)
只要泄露..你就等着身体有SiO2 颗粒吧~  这个东西危险到 日本 香港都是不让用的....
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4楼2010-12-18 22:28:57
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