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【请教】硅纳米线，CVD生长问题
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打算用CVD方法张硅纳米线，要用到硅烷，silane，SiH4。 有人讲硅烷特别易燃，比氢气还严重，请问，操作的时候该注意什么？ 谢谢。 |
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