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coraldevil铜虫 (初入文坛)
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[求助]
硅纳米线生长实验平台搭建的问题
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| 我想用管式炉高温的那种CVD方法做纳米线，我看文献中大多是用稀释的硅烷气体做前躯体，但是这种气体听说很危险啊， 遇空气即燃的，那这该怎么搞啊，把用载气稀释的硅烷通入高温管式炉，那尾气该怎么办啊，纠结... |
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姚木兰2楼2011-06-23 04:01:56
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看到这么多金币，就多提供点信息 一般的硅烷就是用He稀释，一般2%或者5%左右，可以用MFC来控制流量，然后通过密闭的管道到加热的石英管中反映，压力可以用pressure controller控制，然后尾气用pump抽走，，一定要搭好系统，检测气密性后才做，比较危险 |
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3楼2011-06-24 11:05:19
coraldevil
铜虫 (初入文坛)
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- 专业: 微/纳机械系统
4楼2011-06-24 18:53:38
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