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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 硅纳米线生长实验平台搭建的问题
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coraldevil

铜虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线生长实验平台搭建的问题

我想用管式炉高温的那种CVD方法做纳米线，我看文献中大多是用稀释的硅烷气体做前躯体，但是这种气体听说很危险啊， 遇空气即燃的，那这该怎么搞啊，把用载气稀释的硅烷通入高温管式炉，那尾气该怎么办啊，纠结...
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1楼 2011-06-10 09:35:43
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linyj632

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

coraldevil(金币+1): 2011-06-23 08:14:46
coraldevil(金币+1): 2011-06-23 22:13:48
coraldevil(金币+3): 2011-06-24 10:09:59
硅烷确实很危险，所以一定要确保系统的密闭性，尾气可以排到hood的里面抽走，
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姚木兰
2楼2011-06-23 04:01:56
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linyj632

金虫 (小有名气)
看到这么多金币，就多提供点信息

一般的硅烷就是用He稀释，一般2%或者5%左右，可以用MFC来控制流量，然后通过密闭的管道到加热的石英管中反映，压力可以用pressure controller控制，然后尾气用pump抽走，，一定要搭好系统，检测气密性后才做，比较危险
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coraldevil
3楼2011-06-24 11:05:19
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coraldevil

铜虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
Originally posted by linyj632 at 2011-06-24 11:05:19:
看到这么多金币，就多提供点信息

一般的硅烷就是用He稀释，一般2%或者5%左右，可以用MFC来控制流量，然后通过密闭的管道到加热的石英管中反映，压力可以用pressure controller控制，然后尾气用pump抽走，，一定 ...

那尾气需不需要处理呢？
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4楼2011-06-24 18:53:38
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linyj632

金虫 (小有名气)
我们是直接通到hood里面，然后抽走啦，其实硅烷马上就反应生成了SiO2粉末啦，
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5楼2011-06-25 01:31:55
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姚木兰

银虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by linyj632 at 2011-06-23 04:01:56:
硅烷确实很危险，所以一定要确保系统的密闭性，尾气可以排到hood的里面抽走，

您好，我是这学期要做硅烷，我们实验室每一个师兄师姐做过，我觉得比较危险，想请问您一些问题，方便留个qq吗？
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6楼2012-02-20 09:35:27
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