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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 问个小白点的问题，关于CVD和MBE等的区别？
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爱惜花草

木虫 (著名写手)

[求助] 问个小白点的问题，关于CVD和MBE等的区别？

比如什么CVD（MOCVD）、MBE之类的到底有什么区别呢？
感觉都是沉积，
是不是都在衬底上进行化学反应后成膜(MBE是不是直接喷分子束，不发生化学反应？)，
是不是MBE因衬底的原因，有晶格取向的要求（CVD没有这种要求?），
另外生长的薄膜是否都是单晶？
总是有点概念模糊。

[ Last edited by 爱惜花草 on 2011-10-23 at 22:17 ]
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一步一步去实现自己的目标，不要让自己成为自己的绊脚石，克制自己！
1楼 2011-10-23 22:07:00
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飞扬浪子

木虫 (正式写手)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-10-26 12:05:12
CVD发生化学反应
MBE，分子束外延，包含了两个概念，分子束和外延生长
分子束的获得方式，不能通过简单的加热获得 ，多数需要等离子体或者其他高能形式得到。
外延生长，单晶基底上结晶。
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飞扬不羁，浪迹天涯！
2楼2011-10-23 23:12:17
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★
爱惜花草(金币+20): xiexie~ 2011-10-25 16:14:00
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-10-26 12:05:23
1、都是薄膜沉积或薄膜生长。
2、MBE不属于化学反应。CVD是。
3、MBE是在单晶衬底上外延生长；CVD也可以进行单晶生长，也可以多晶、非晶生长，依据衬底和生长条件的不同而不同。
赞一下(1人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
3楼2011-10-24 08:34:10
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xianxianren

新虫 (初入文坛)
xuexi
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4楼2011-10-26 09:44:20
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