| 查看: 2616 | 回复: 6 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
657466457木虫 (小有名气)
|
[交流]
德国的IAF MPCVD设备问题 已有4人参与
|
||
| 有人研究过IAF 的MPCVD的设备吗？他的主设备外形很有特点，是椭圆的。请教一下，这样设计的原因和优点。 |
回复此楼» 猜你喜欢
职称评审没过，求安慰
已经有51人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有5人回复
-
26申博自荐
已经有3人回复
-
A期刊撤稿
已经有4人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有17人回复
-
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有22人回复
-
EST投稿状态问题
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教一下，金属涂层对微波电磁波的影响
已经有3人回复
- 有关cvd设备的推荐
已经有9人回复
- 求助！合成材料时CVD对真空系统的要求 用过CVD的大神来
已经有12人回复
- CVD内压强问题
已经有10人回复
- 探讨AMS14C年龄校正到日历年的问题
已经有7人回复
- 提交电子材料时文件名中数字0和大写字母O的问题
已经有23人回复
- 德国拿学位还是米国常春藤
已经有17人回复
- 噪音90分贝，用何种吸音材料？
已经有8人回复
- 【求助】CVD相关问题
已经有3人回复
- 【讨论】CVD 什么材料 吸收微波
已经有4人回复
- 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？
已经有7人回复
- 【求助】设备问题
已经有4人回复
3楼2012-01-31 14:55:52
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
| 这种装置的反应腔同石英钟罩式MPCVD装置的相似，也由金属谐振腔和石英钟罩组成。装置中微波天线的发射端位于椭球的上焦点处，而处于低压下的沉积台位于椭球的下焦点处。椭球形谐振腔式MPCVD装置巧妙地利用了电磁波的反射和椭球具有双焦点的特性，使微波经模式转换器转换耦合进椭球形谐振腔后，从椭球的上焦点发出，在椭球的下焦点聚焦出一强的电场区域，使处于低压下的反应气体激发、产生出等离子体。这种装置最显著的优点是其对微波电场能量的聚集能力强，微波能量被集中于样品台的上方，避免了次生等离子体区域的产生。该装置与石英钟罩式MPCVD装置的不同之处除了谐振腔的形状不同以外，还在于前者的石英钟罩的尺寸较大。尺寸较大的石英钟罩使其可远离等离子体区域，因而可避免因被等离子体刻蚀造成对金刚石膜的污染。 |
2楼2012-01-31 14:50:58
741741741
金虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 2253.3
- 散金: 500
- 红花: 3
- 帖子: 358
- 在线: 192.3小时
- 虫号: 1178962
- 注册: 2010-12-28
- 性别: MM
- 专业: 碳素材料与超硬材料
4楼2012-04-05 21:46:22
5楼2013-09-13 14:51:24