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Atma

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1761.8
散金: 52
帖子: 213
在线: 135小时
虫号: 151817
注册: 2005-12-30
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[交流] 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？已有5人参与

如题，氨气有腐蚀性，怕腐蚀分子泵，能不能通？或者有什么解决办法？
谢谢

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1楼 2010-05-26 10:18:00

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dianziwei

金虫 (小有名气)

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注册: 2009-10-15
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专业: 半导体材料

应该没什么问题吧

逆水行舟，不进则退！

6楼2010-06-19 18:30:03

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