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Atma

木虫 (小有名气)

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[交流] 【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？已有5人参与

如题，氨气有腐蚀性，怕腐蚀分子泵，能不能通？或者有什么解决办法？
谢谢

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1楼 2010-05-26 10:18:00

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pptang

荣誉版主 (著名写手)

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Atma(金币+2):谢谢！ 2010-06-20 19:16:48

用是可以用的，但是分子泵的寿命会减少很多，而且这个会对轴承腐蚀很厉害，所以维修费用也很贵，国产的KYKY的你去换个轴承还要一万多，如果进口的就更贵了

您的支持，是我的动力！！！

8楼2010-06-20 10:49:01

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