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Atma木虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】带分子泵的CVD系统能不能通氨气等腐蚀性气体？ 已有5人参与
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如题，氨气有腐蚀性，怕腐蚀分子泵，能不能通？或者有什么解决办法？ 谢谢 |
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