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Vafan

新虫 (初入文坛)

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[交流] 关于陶瓷溅射靶材使用寿命已有2人参与

我导师去年买了两块陶瓷靶材，然后师兄使用了1年，发现两块陶瓷靶材都碎成多块并且与背片脱离，实际靶材碎裂可能要更早，不知道大家使用陶瓷溅射靶材使用寿命有多久

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1楼 2014-09-26 17:08:12

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huihui2eat

银虫 (小有名气)

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专业: 等离子体物理

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寿命跟使用有关，陶瓷靶很容易碎，绑定可以提高利用率，延长使用寿命

2楼2014-11-14 13:28:59

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汉王重出江湖

木虫 (著名写手)

辽南王子

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性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

靶材的寿命跟靶材密度有关，高密度高寿命。

自己永远要追求最完美！宠辱不惊，看庭前花开花落；去留无意，望天上云卷云舒。我现在喜欢上了一句话叫有心栽花花不发，无心插柳柳成荫。

3楼2014-11-14 15:47:39

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