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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

[求助] PLD靶材缩小问题

想做PLD使用的靶材,磨具已经固定,不能改变,怎么样才能使收缩率尽量的减小?求高人指点!
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磁控溅射靶材资料大全

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瞬~

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ruby_880519: 金币+17, 有帮助, 1 2012-10-15 09:42:11
烧结温度不能太高
Great moments are born from great opportunities.凡事最终都会有好结果的,如果没有好结果,那是还没到最后。
2楼2012-10-11 19:57:53
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
PLD的靶材大一点无关系,就怕小了,我就经常用大一点的,只要压的时候不要太用力了。
3楼2012-10-12 09:06:40
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 09:06:40
PLD的靶材大一点无关系,就怕小了,我就经常用大一点的,只要压的时候不要太用力了。

可是烧完了就是会缩小。
4楼2012-10-12 10:19:43
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-12 10:19:43
可是烧完了就是会缩小。...

是啊,所以你就用个稍微比你靶托大一点的磨具啊。比如我们靶托在22mm左右,我们做靶材一般用26mm左右的磨具,收缩一点就差不多啦。
5楼2012-10-12 10:51:47
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 10:51:47
是啊,所以你就用个稍微比你靶托大一点的磨具啊。比如我们靶托在22mm左右,我们做靶材一般用26mm左右的磨具,收缩一点就差不多啦。...

关键实验室的磨具已经是那么大的,老师不可能为我买个新的,就是想看看有没有什么办法可以尽量使得靶材收缩的小一点
6楼2012-10-12 13:20:27
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-12 13:20:27
关键实验室的磨具已经是那么大的,老师不可能为我买个新的,就是想看看有没有什么办法可以尽量使得靶材收缩的小一点...

你们烧出来的陶瓷有多大,PLD的靶托应该最大可以用直径60mm的靶,而且就算你烧出来的陶瓷大一点,你可以在砂纸上磨一下不就完了,没必要烧出来就刚刚合适的,方法都是自己想的。
7楼2012-10-12 15:00:17
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
只要你的靶材直径比光斑直径大,理论上讲,就足够了。
也就是说,靶缩不要太大,能固定就行了。
8楼2012-10-12 17:18:33
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 15:00:17
你们烧出来的陶瓷有多大,PLD的靶托应该最大可以用直径60mm的靶,而且就算你烧出来的陶瓷大一点,你可以在砂纸上磨一下不就完了,没必要烧出来就刚刚合适的,方法都是自己想的。...

不是,我担心的是会缩小了,大了我就不担心了。
9楼2012-10-13 12:56:39
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2012-10-12 17:18:33
只要你的靶材直径比光斑直径大,理论上讲,就足够了。
也就是说,靶缩不要太大,能固定就行了。

这的磁控溅射靶材在上面,稍微小一点就会掉下来,有没有人可以正面回答下我的问题呀
10楼2012-10-13 12:58:01
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