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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 知名团队 » PLD靶材缩小问题
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
10楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-13 13:58:01
这的磁控溅射靶材在上面，稍微小一点就会掉下来，有没有人可以正面回答下我的问题呀...

是啊，一般靶材都在下面，在上面的话，比较难办
不行的话，空隙用金属的东西添上吧。
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11楼2012-10-13 15:05:20
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
ruby_880519: 金币+3, ★有帮助 2012-10-15 09:41:40
引用回帖:
9楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-13 12:56:39
不是，我担心的是会缩小了，大了我就不担心了。...

这个很简单啊，磨具不好做，那个PLD靶材的盖片很好做啊，你靶材出来后看看直径多少，再做一个环形盖片，内径跟你靶材直径差不多就行啦。
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12楼2012-10-13 15:23:35
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tym08

铜虫 (初入文坛)
提高预烧温度就可以了
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13楼2012-10-22 20:24:14
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cao147259

新虫 (小有名气)
一般PLD做靶材都是怎么个温度线
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14楼2012-12-26 14:34:21
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taochao
15楼2013-06-30 22:38:53
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