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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

[求助] PLD靶材缩小问题

想做PLD使用的靶材，磨具已经固定，不能改变，怎么样才能使收缩率尽量的减小？求高人指点！
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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2012-10-10 15:00:58
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瞬～

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ruby_880519: 金币+17, ★有帮助, 1 2012-10-15 09:42:11
烧结温度不能太高
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Great moments are born from great opportunities.凡事最终都会有好结果的，如果没有好结果，那是还没到最后。
2楼2012-10-11 19:57:53
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
PLD的靶材大一点无关系，就怕小了，我就经常用大一点的，只要压的时候不要太用力了。
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3楼2012-10-12 09:06:40
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 09:06:40
PLD的靶材大一点无关系，就怕小了，我就经常用大一点的，只要压的时候不要太用力了。

可是烧完了就是会缩小。
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4楼2012-10-12 10:19:43
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-12 10:19:43
可是烧完了就是会缩小。...

是啊，所以你就用个稍微比你靶托大一点的磨具啊。比如我们靶托在22mm左右，我们做靶材一般用26mm左右的磨具，收缩一点就差不多啦。
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5楼2012-10-12 10:51:47
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 10:51:47
是啊，所以你就用个稍微比你靶托大一点的磨具啊。比如我们靶托在22mm左右，我们做靶材一般用26mm左右的磨具，收缩一点就差不多啦。...

关键实验室的磨具已经是那么大的，老师不可能为我买个新的，就是想看看有没有什么办法可以尽量使得靶材收缩的小一点
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6楼2012-10-12 13:20:27
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by ruby_880519 at 2012-10-12 13:20:27
关键实验室的磨具已经是那么大的，老师不可能为我买个新的，就是想看看有没有什么办法可以尽量使得靶材收缩的小一点...

你们烧出来的陶瓷有多大，PLD的靶托应该最大可以用直径60mm的靶，而且就算你烧出来的陶瓷大一点，你可以在砂纸上磨一下不就完了，没必要烧出来就刚刚合适的，方法都是自己想的。
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7楼2012-10-12 15:00:17
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
只要你的靶材直径比光斑直径大，理论上讲，就足够了。
也就是说，靶缩不要太大，能固定就行了。
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8楼2012-10-12 17:18:33
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 15:00:17
你们烧出来的陶瓷有多大，PLD的靶托应该最大可以用直径60mm的靶，而且就算你烧出来的陶瓷大一点，你可以在砂纸上磨一下不就完了，没必要烧出来就刚刚合适的，方法都是自己想的。...

不是，我担心的是会缩小了，大了我就不担心了。
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9楼2012-10-13 12:56:39
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2012-10-12 17:18:33
只要你的靶材直径比光斑直径大，理论上讲，就足够了。
也就是说，靶缩不要太大，能固定就行了。

这的磁控溅射靶材在上面，稍微小一点就会掉下来，有没有人可以正面回答下我的问题呀
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10楼2012-10-13 12:58:01
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