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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

[求助] PLD靶材缩小问题

想做PLD使用的靶材,磨具已经固定,不能改变,怎么样才能使收缩率尽量的减小?求高人指点!
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wbcui at 2012-10-12 17:18:33
只要你的靶材直径比光斑直径大,理论上讲,就足够了。
也就是说,靶缩不要太大,能固定就行了。

这的磁控溅射靶材在上面,稍微小一点就会掉下来,有没有人可以正面回答下我的问题呀
10楼2012-10-13 12:58:01
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瞬~

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ruby_880519: 金币+17, 有帮助, 1 2012-10-15 09:42:11
烧结温度不能太高
Great moments are born from great opportunities.凡事最终都会有好结果的,如果没有好结果,那是还没到最后。
2楼2012-10-11 19:57:53
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
PLD的靶材大一点无关系,就怕小了,我就经常用大一点的,只要压的时候不要太用力了。
3楼2012-10-12 09:06:40
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ruby_880519

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-10-12 09:06:40
PLD的靶材大一点无关系,就怕小了,我就经常用大一点的,只要压的时候不要太用力了。

可是烧完了就是会缩小。
4楼2012-10-12 10:19:43
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