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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 关于陶瓷靶材，求指教啊
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林文丢丢

木虫 (正式写手)

[交流] 关于陶瓷靶材，求指教啊 已有3人参与

在做磁控溅射所用陶瓷靶材的时候  我们一般先做陶瓷小片  测试性能好确定制备工艺  然后再制备靶材
所以我想问一下 直径12mm和直径60mm 陶瓷烧结时间是不是应该一样
会不会随着靶材的面积和体积增大而延长烧结时间啊
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1楼 2014-09-04 11:40:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
主要考虑向材料内部传热的问题。如果陶瓷靶材厚度相同的话，烧结时间应该差不多的。
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2楼2014-09-04 14:22:31
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林文丢丢

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-04 14:22:31
主要考虑向材料内部传热的问题。如果陶瓷靶材厚度相同的话，烧结时间应该差不多的。

直径12mm厚约0.8mm  
直径60mm厚度约为4mm
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3楼2014-09-04 15:01:52
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 林文丢丢 at 2014-09-04 15:01:52
直径12mm厚约0.8mm  
直径60mm厚度约为4mm...

那你这厚度差的太多了，好几倍呢！温度相同的条件下，那肯定要大约原来5倍的保温时间了。
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4楼2014-09-04 15:17:43
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林文丢丢

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-04 15:17:43
那你这厚度差的太多了，好几倍呢！温度相同的条件下，那肯定要大约原来5倍的保温时间了。...

但是我看文献 他们的是一样的 所以 盲目了
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5楼2014-09-04 16:30:02
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alnzhang

铜虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
靶材需要的是纯度
烧结致密就好，时间太长陶瓷晶粒太大会影响后道参数的
做细点样品烧好测下密度
看下电竞

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2014-09-05 12:05:12
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云中材料

新虫 (初入文坛)
不会

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼2014-09-05 12:51:53
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