| 查看: 2784 | 回复: 4 | ||||
raaishenghuo铁杆木虫 (小有名气)
|
[交流]
关于去除硅片氧化层 已有2人参与
|
| 3：1的H2SO4/H2O2 叫做piranha溶液，强氧化性。 硅片经此溶液处理后反而会形成氧化层，厚度可以用ellipsomertry测量，大概在0.8nm。含HF的试剂可以去除氧化层，但是同时也腐蚀硅片，增加表面粗糙度。建议用还原性气体plasma处理硅片去除氧化层，例如氢气。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 Si粗化 |
» 猜你喜欢
【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂
已经有11人回复
-
一志愿深大，0703化学，总分302，求调剂
已经有4人回复
-
材料学硕333求调剂
已经有3人回复
-
材料求调剂
已经有3人回复
-
333求调剂
已经有5人回复
-
求助
已经有6人回复
-
278求调剂
已经有9人回复
-
297求调剂
已经有12人回复
-
0703化学297求调剂
已经有3人回复
-
材料学硕301分求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 如何在n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？
已经有4人回复
- 如何才能使硅片表面疏水？（30金币赠送）
已经有32人回复
- 在硅片上长了氧化硅氮化硅薄膜，用什么测反射率
已经有9人回复
- 求助哪里有硅片切割机
已经有9人回复
- 腐蚀后氧化层保护问题，求助？
已经有8人回复
- 硅片氧化层击穿测试求助
已经有3人回复
- 金属W表面氧化如何去除？
已经有7人回复
- 怎样判断硅片表面清洗干净？
已经有11人回复
- 如何在硅片上长300nm的Si02层
已经有12人回复
- 正面长有氮化硅（Si3N4）的硅片怎样去除硅片背面的薄淡化硅层（~几nm）
已经有5人回复
- 一氧化硅负极 没容量
已经有21人回复
- 求助：氧化硅表面的羟基是怎么来的？
已经有11人回复
- 为什么太阳能级硅生产要除磷，硼，而制作太阳电池却要吸杂（P/B）
已经有12人回复
- 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？
已经有5人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
- 【求助】除去硅表面的二氧化硅
已经有13人回复
- 【求助】硅片的稳定钝化
已经有5人回复
- 【请教】硅片的清洗
已经有59人回复
- 【求助】求助：要做AFM前硅片怎么处理和旋涂？
已经有21人回复
- 【讨论】氧化硅表面包一层氧化铈，说出您的高见
已经有20人回复
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- IN-EPI: 1
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146163
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.3小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2014-07-07 07:16:49
raaishenghuo
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5964.7
- 散金: 4
- 红花: 2
- 帖子: 204
- 在线: 159.7小时
- 虫号: 1214143
- 注册: 2011-02-26
- 性别: MM
- 专业: 高分子材料与环境
3楼2014-07-08 08:55:32
peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- IN-EPI: 1
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146163
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7694.3小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2014-07-08 10:10:05
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
5楼2014-08-12 14:44:10
