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如何在n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？ 已有2人参与
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如何在中阻（1-3欧姆）的n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？ 制备的氧化硅质量好，均匀性好，钝化效果好。我们实验室现在只能利用热氧化工艺制备，请问利用热氧化工艺（氧化炉或快速热退火）可以制备出质量较好的超薄氧化硅吗？或者还有什么其他好的处理方法吗? 求助各位大神，万分感激！！！ |
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2楼2014-06-08 09:27:57
scu2020
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3楼2014-06-10 23:16:30
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4楼2014-06-11 10:29:30
5楼2014-09-03 16:50:03
28