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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 如何在n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？
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1287619108

新虫 (小有名气)

[求助] 如何在n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？ 已有2人参与

如何在中阻（1-3欧姆）的n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？
制备的氧化硅质量好，均匀性好，钝化效果好。我们实验室现在只能利用热氧化工艺制备，请问利用热氧化工艺（氧化炉或快速热退火）可以制备出质量较好的超薄氧化硅吗？或者还有什么其他好的处理方法吗?
求助各位大神，万分感激！！！
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1楼 2014-06-07 12:43:03
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1287619108

新虫 (小有名气)
我要制备的是氧化硅层，做太阳能电池的缓冲层用，不是氧化硅纳米颗粒。但还是谢谢你提供的帖子。
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2楼2014-06-08 09:27:57
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scu2020

荣誉版主 (知名作家)

努力努力

【答案】应助回帖

★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢交流求助，常来工艺技术版 2014-06-11 21:26:55
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1287619108 at 2014-06-08 09:27:57
我要制备的是氧化硅层，做太阳能电池的缓冲层用，不是氧化硅纳米颗粒。但还是谢谢你提供的帖子。

哈哈，那个是机器人！
会自动搜索一些相似帖子
耐心等等，论坛求助时效性不可保证的
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3楼2014-06-10 23:16:30
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小黑白hun

木虫 (著名写手)
★
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢交流求助，常来工艺技术版 2014-06-11 21:27:03
均匀性怎么控制呢？形成一个膜？这个涂抹？搞不懂

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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大大大
4楼2014-06-11 10:29:30
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焦天鹏

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-09-03 23:11:33
在80℃去离子热水中氧化，应该会满足你的需求
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5楼2014-09-03 16:50:03
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