| 查看: 1217 | 回复: 4 | |||
[求助]
如何在n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？ 已有2人参与
|
|
如何在中阻（1-3欧姆）的n型硅上制备1-3nm厚的超薄氧化硅层（已去掉自然氧化层）？ 制备的氧化硅质量好，均匀性好，钝化效果好。我们实验室现在只能利用热氧化工艺制备，请问利用热氧化工艺（氧化炉或快速热退火）可以制备出质量较好的超薄氧化硅吗？或者还有什么其他好的处理方法吗? 求助各位大神，万分感激！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
今年面上没有消息，想来是没了，散个金攒攒人品，为明年祈福
已经有698人回复
-
合肥工业大学854仪器技术综合专业课考研
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有52人回复
-
27年电化学博士毕业，想找海外QS前50的高校读博后求推荐
已经有3人回复
-
27年电池/材料类博士申请
已经有2人回复
-
邀您投稿 Polymers 特刊
已经有5人回复
-
2027年博士申请或转博科研助理 求推荐
已经有1人回复
-
氯化钠与有机磺酸分离
已经有1人回复
-
酚醛树脂微球制备
已经有0人回复
-
瑞典-博后-固态电池-粘结剂-锂离子电池方向
已经有53人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问：10 nm以下的纳米氧化硅颗粒如何分离得到？
已经有9人回复
2楼2014-06-08 09:27:57
scu2020
荣誉版主 (知名作家)
努力努力
-
专家经验: +52 - TEPI: 22
- 应助: 348 (大学生)
- 贵宾: 2.388
- 金币: 15347.9
- 散金: 16554
- 红花: 174
- 沙发: 37
- 帖子: 6225
- 在线: 649.3小时
- 虫号: 1955323
- 注册: 2012-08-25
- 性别: GG
- 专业: 传递过程
- 管辖: 工艺技术
3楼2014-06-10 23:16:30
小黑白hun
木虫 (著名写手)
- TEPI: 1
- 应助: 76 (初中生)
- 贵宾: 0.012
- 金币: 2882.6
- 散金: 2828
- 红花: 29
- 沙发: 1
- 帖子: 1189
- 在线: 134.6小时
- 虫号: 2119513
- 注册: 2012-11-11
- 性别: GG
- 专业: 传递过程
4楼2014-06-11 10:29:30
5楼2014-09-03 16:50:03
28