应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？
61/1返回列表
查看: 1298  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】大家用硅片旋涂的时候处理上面的氧化层吗？

看到文献上都说在Si片上旋涂，可是我有一事不明白，硅片上不是有一层自然的氧化层吗？要把这层氧化层处理掉吗？不处理可以吗？也有文献上说在SiO2/Si上旋涂，把硅片热氧化上一层SiO2，我不知道我是应该把上面的氧化层处理掉呢还是要热氧化上一层SiO2呢？如果处理氧化层的话要用什么呢？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-04-04 21:28:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)
还有我要是不处理的话那算是在SiO2/Si基片上旋涂吧？
赞一下 回复此楼
2楼2011-04-04 21:30:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小小蕾蕾

金虫 (小有名气)
怎么没有人回呢？
赞一下 回复此楼
3楼2011-04-24 21:40:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ev87

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+1): 2011-04-27 14:25:49
SiO 通俗来说就是Si片吧，我想是你想太多了吧。。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-04-25 00:15:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫荆空间

银虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
小小蕾蕾(金币+3): 2011-04-27 14:25:56
Missile521(金币+1): 欢迎交流！ 2011-04-27 20:21:25
引用回帖:
Originally posted by 小小蕾蕾 at 2011-04-04 21:28:48:
看到文献上都说在Si片上旋涂，可是我有一事不明白，硅片上不是有一层自然的氧化层吗？要把这层氧化层处理掉吗？不处理可以吗？也有文献上说在SiO2/Si上旋涂，把硅片热氧化上一层SiO2，我不知道我是应该把上面的氧 ...

实际上就算Si表面没有SiO2层，利用溶胶凝胶涂膜厚再热处理就会产生SiO2层的。所以一般情况下不用把SiO2层腐蚀掉，当然你也可以把涂在Si片上说成是涂在SiO2/Si上，不影响你说明问题。
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2011-04-26 19:06:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

文虫wen

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
6楼2014-04-22 18:41:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 小小蕾蕾 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭